Tektronix 泰克
Tektronix 泰克Keithley 6487 皮安表/電壓源產品介紹：
產品型號：Keithley 6487
產品品牌：Tektronix 泰克
產品類別：皮安表/電壓源
產品備注：皮安表/電壓源
Tektronix 泰克Keithley 6487 皮安表/電壓源產品特點：
Tektronix 泰克Keithley 6487 皮安表/電壓源產品應用：
Tektronix 泰克Keithley 6487 皮安表/電壓源產品優勢：
5位半6487皮安表/電壓源提高 了備受贊譽6485的測量能力，并增 加了500V的高分辨率源。它具有比 6485更高的準確度和更快的上升時 間，以及配合容性元件使用的阻尼 功能。這款經濟有效的儀器具有8 個電流測量量程和高速自動量程功 能，可以測量20fA-20mA的電流，其 測量速度達到1000讀數/秒，并且輸 出200μV-505V的電壓。
6487的10fA分辨率、卓越的靈 敏度、電壓掃描以及交變電壓的電 阻測量使其非常適合于低電流器件 的特性分析。盡管它使用了最新的 電流測量技術，但它仍比類似功能 的其它儀表[例如光功率計、垓歐姆 表（tera-ohmmeter）、皮安表競爭 產品或用戶設計的方案]便宜得多。 由于6487相當于一臺高端數字萬用 表的價格，所以基本上任何實驗室或生產車間都能負擔得起用6487進行皮安級測量。
數字萬用表一般使用分流電表電路測量電流，而6487是一款反饋式皮安表。此設 計將輸入壓降（voltage burden）減少了幾個數量級，使較低測量量程上的輸入壓降 低于200μV。較低的輸入壓降使6487的功能比數字萬用表更象一個理想的安培計，所 以即使在輸出電壓極低的電路中，它也能實 現高準確度的電流測量。
6487構建在吉時利最受歡迎的一款皮 安表（487型）的強大功能之上，增加了20mA 測量量程并且極大提高了測量速度，達到 1000讀數/秒。它用內建電壓掃描功能和用 于高阻的交變電壓法簡化了器件特性分析。 帶時間標記的3000讀數數據緩沖器提供最 小、最大和標準差統計。內建仿真模式可以 用編寫的487控制代碼來控制6487。
? 直接電阻測量。優化用于50Ω-5×1014Ω的電阻，使用輸出電壓/測量電流法。
? 交變電壓法測量電阻。此方法改進了具有高背景電流或高噪聲器件的電阻測量。 它擴展了可測量電阻范圍至1016Ω。
? 500V過載保護。這種高負載保護和堅固耐用的設計讓6487耐受過量溢出，包括 偶然將電壓源直接短路至電流表。
后面板三同軸輸入。這允許皮安表浮地工作達500V。當不浮地時，增加三同 軸至BNC適配器允許使用便宜、易用的BNC電纜，無需使用更貴的三同軸電纜。
? RS-232和IEEE-488接口。這些接口能輕松將6487集成進自動測試和測量系 統中。
? 按比例的電壓模擬輸出。此輸出允許6487發送測量結果至DMM、數據采集 卡、示波器或長圖記錄儀等設備。
? 內建觸發鏈路接口。觸發鏈路接口簡化了6487與其它儀器及電壓源的同步。此接口在單個連接器上結合了6種單獨可選的觸發線路以便輕松、直接地控 制系統中的全部儀器。
? 顯示on/off開關。對于光敏器件的研究，例如測量光電二極管的暗電流或未封裝二極管的I-V測量，可以關閉前面板顯示以防引入光線而使測量結果的準 確性大幅降低。
? 一鍵式前面板設計。按一次按鈕就能輕松配置功能，無需復雜的功能菜單。
晶圓級光電二極管測試
6487型皮安表/電壓源能配合校準光源與探針夾具使用以創建經濟有效的 光電二極管測試系統。多臺6487可以連接至DUT的探測墊以提供光電流讀數， 或者隨著增加開關矩陣，一臺皮安表就能從多個探測墊測量電流。測量過程的 第一步完全在黑暗中進行，6487生成一個電壓掃描，然后測量產生的暗電流。 在第二步中，隨著校準步驟中的亮度級增加，施加電壓偏置并測量產生的光電 流。相同的基本測試配置可用于測試正-本征-負（PIN）二極管和雪崩光電二極管 （APD）。6487在10V輸出量程的高分辨率在要求較小偏置時具有優秀的掃描和偏 置功能。500V的輸出能力是為APD提供偏壓所必需的。
在半導體制造中，聚焦離子束系統常用于納米級成像、微加工和測圖。重要的是，用 離子檢測器仔細監測離子束電流的幅度。離子束產生的次生電流與主離子束的電流成比 例。當測量次生電流時，它能用于控制主離子束的強度。然而，次生電流非常微弱，通常只 有幾個皮安，因此測量儀表必需具有很高的測量準確度和可重復性，以及皮安級以下的 分辨率。6487的寬測量范圍和5位半分辨率使其非常適合于此應用。通過6487的三同軸連 接器實現6487的信號連接。通常，檢測器可能需要高電壓吸引離子，因而必需使用6487的 500V輸出。
6487皮安表適合在絕緣電阻測試等應 用中測量高電阻（>1GΩ）。一個恒定的電壓 與未知電阻和皮安表串聯。皮安表的壓降可 以忽略，因此全部壓降出現在未知電阻上。 產生的電流被皮安表測量并且使用歐姆定律 （R=V/I）計算出電阻值。為了防止靜電干擾 產生的電流，未知電阻封裝在屏蔽測試裝置 中。如果未知電阻器具有較大寄生電容，可 以增加一個小的串聯電阻器以降低噪聲。
測量低電平直流電流需要的功 能往往遠超過數字萬用表（DMM） 具有的功能。一般地說，DMM的靈 敏度不足以測量100nA以下的電 流。即便在較高的電流上，DMM的 輸入壓降（voltage burden）達 到幾百毫伏，因此不能準確測量電 流。靜電計能非常準確地測量低電 流，但是測量極低電流所需的電路 加上電壓、電阻和電荷測量等功能 會極大增加靜電計的成本。6487型 皮安表/電壓源結合了DMM的經濟易 用性以及接近靜電計的微電流靈 敏度。
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